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行业新闻
静电放电敏感度分级-HBM模型的敏感度分级

静电放电敏感度

我们讨论了静电放电时人的主观感受,即人对静电放电的敏感度,它是以静电电压来区分的。对于火炸药、电火工品和易燃易爆气体、粉尘的静电感度,是用50%概率下的静电能量或静电电压来表示静电感度,而电子行业中,电子元器件的静电敏感度(也称ESD敏感度)也是以能够耐受的最大静电放电电压值来表示的。本书仅讨论电子产品的ESD敏感度,在4.2节我们也讨论了,即使放电电压相同,不同的放电模型的放电电流波形也是不同的,对电子元器件的影响也是不一样的。因此,在确定电子产品ESD敏感度时,所采用的放电模型至关重要。
静电放电敏感度

静电放电敏感度分级-HBM模型的敏感度分级

早期,与静电放电敏感度相关国内外标准,如美国军用标准MIL-STD-883、MIL-STD-750、MIL-STD-1686,我国军用标准GJB 1649-1993、GJB 548-1996、GJB 128A-1997等,普遍将人体模型的静电放电敏感度等级划分为三级。1999年发布的美国军用标准MIL-STD-883E《微电子器件试验方法》,至1999年12月的第三次修改通告,其方法3015《静电放电敏感度分级》仍保持最高3级(≥4000 V)的规定;在之后的修改通告中将最高等级提高了3B级(≥8000V),该级别试验电压和电流峰值分别为8000V和5.33A。直到2001年,美国国家标准 ANSI/ESD STM 5.1-2001,将HBM的静电敏感度划分为7级。随后,我国国家军用标准GJB 548B-2005《微电子器件试验方法和程序》等同采用了这些新规定,等级划分如表4-7所示。 
表4-7 器件HBM敏感度分级
原来分级
(GJB 1649-1993)
HBM敏感度最新分级(GJB 548-2005或STM 5.1-2001)
等级 电压范围(V)
1级 0~<1 900/V 0 <250
1A 250~<500
1B 500~<1000
1C 1000~<2000
2级 2000~<3 900 V 2 2 000~<4 000
3级 4 000~<15 900 V 3A 4 000~<8 000
3B ≥8 000